同质异复合薄膜临界转变条件及摩擦学机理和设计

分别采用直流磁控溅射高纯石墨靶材加氢气方法和热丝化学气相沉积方法制备金刚石薄膜，着重考察了工艺因素和工艺参数对形成金刚石相薄膜的影响，分别对在两种制备方法的条件下优化了制备金刚石的工艺参数的复合。结果表明：在热丝化学气相磁控溅射方法中加氢气是最重要的条件；热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜，涂纳米级碳管对金刚石的形核和生长起到至关生要的作用；采用磁控溅射方法在最优工艺参数条件下，能获得金刚石含量达到22%的碳薄膜，这种薄膜具有非常良好的冷阴极场发射性能，在平板显示领域具有良好的应用前景；热丝化学气相沉积方法制备的金刚石薄膜以及石墨金刚石复合薄膜对低钴硬质合金具有显著的耐磨和减摩的作用。