空天飞行器相关微系统的动态失效模式和机理
基本信息
批准号：90305020
项目类别：重大研究计划
资助金额：30.00
负责人：赵亚溥
学科分类：
依托单位：中国科学院力学研究所
批准年份：2003
结题年份：2006
起止时间：2004-01-01 - 2006-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：胡宇群,杨春燕,任权,高永刚,施兴华
关键词：
动态失效失效机理尺度和表面效应空天飞行器相关微系统
结项摘要
MEMS在空天应用的潜力是巨大的，但是可靠性问题(特别是冲击过载所引起的可靠性问题)成为限制MEMS在空天方面得到广泛应用的主要因素之一。以空天飞行器相关的微电子机械系统(如微加速度计、微陀螺仪及其惯性组合、射频MEMS开关等)为背景，结合先期初步实验中所得到的一些实验现象(如冲击引起的微加速度计内部结构的破碎，以及冲击所引起的不同微结构界面间的粘着失效等)，并通过新的动态冲击实验，得到相关微系统器件的动态失效模式，研究其动态失效机理，建立其动态失效模型，将所得的理论模型对相关微系统器件的设计进行反馈，
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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