特种玻璃芯片材料制备与纳米碳管电极阵列集成研究

微流控芯片是微全分析系统的核心之一，代表着21世纪仪器分析走向微型化、集成化的发展方向。本工作以适当组分的具有良好的光化学加工性能的特种微晶玻璃为芯片材料，通过屏蔽光刻和化学腐蚀技术，在其上获得具有需要尺寸的液池和微流通道以及微米孔阵列。深入研究永久应力等对微米孔阵列完整性的影响。利用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积法在微米孔阵列中合成纳米碳管电极，实现电极的低温定位集成。结合等离子体诊断技术，分析在电磁场作用下微米孔阵列中等离子体的输运特性，获得等离子体参数与运行参数之间的关系，研究等离子体参数对孔穴中纳米碳管生长的影响，获得稳定的工艺条件。在上述基础上，研究纳米碳管电极阵列的电化学分析性能、微流通道的电渗性能和电泳分离性能，为纳米碳管电极在微流控芯片中得以应用奠定基础。