硼化镁超导多层膜的双加热器原位气相化学沉积方法研究
基本信息
批准号：60471050
项目类别：面上项目
资助金额：25.00
负责人：傅兴华
学科分类：
依托单位：贵州大学
批准年份：2004
结题年份：2007
起止时间：2005-01-01 - 2007-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：丁召,杨健,梁蓓,黄小平,吴广国,罗子江
关键词：
多层膜硼化镁超导化学气相沉积CVD
结项摘要
本项目基于硼化镁超导薄膜的化学气相沉积制备方法，研究（1）硼化镁超导薄膜的双加热器原位化学气相沉积制备方法，制备过程中的镁缺失机制和克服方法；（2）硼化镁超导薄膜台阶处的微观结构和超导特性的关系；（3）从多种缓冲层介质中筛选处1-2种适合制备硼化镁超导多层膜的缓冲层介质；（4）探索在硅、氧化铝、金属等多种基片上制备大面积硼化镁超导多层膜的制备工艺；（5）研究硼化镁超导多层膜结晶过程中成核机制。本项
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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