CuSO4溶液超薄液层电沉积物在Cu2+磁控输运状态下的形貌形成

为了进一步拓展微电子功能器件的制备工艺，国内外研究者正密切关注具有可控沉积物形貌的电沉积实验研究。在利用独特的超薄液层电沉积方法考察Cu/Cu2O微晶聚集体在准二维生长条件下的电结晶特性、分析沉积物的自组织形貌形成和形貌选择机制的基础上，本研究首次将具有特定取向的恒稳磁场引入CuSO4溶液超薄液层电沉积实验研究，寻求存在于外加磁场方向、磁感应强度、生长驱动力等实验参数与沉积物微观形貌、化学组成以及物质结构之间的内在联系，分析外加磁场作用下超薄液层内金属阳离子在沉积物/溶液界面区域的输运过程、界面双电层的充放电过程以及外部光辐照等方面的因素对沉积物电结晶特性所产生的影响，探索蕴含于上述物理化学过程中的基本特征和基本规律，为阐明外加恒稳磁场作用下超薄液层电沉积物的电结晶特性及其形貌形成机制奠定基础，并期望可在此基础上实现由具有微纳尺寸宽度的电沉积物所构成的大面积平行直线阵列结构的电沉积制备。