硅基薄膜热线型气体传感嚣及其表面修饰

研究了以Si为衬底采用RF方法在其上溅射铂膜电极的工艺条件，如Ar压力、淀积温度、淀积速率及热处理温度对铂电极质量的影响。分析了平面热线型气体传感器的结构特点。为制备器件要求的低阻SnO2、In2O3薄膜敏感材料，采用SoL-Gel等方法在制备凝胶过程中采用液相分别掺Sb（3+）和掺Sn（4+）及真空或适当气氛中热处理的方法，制得低阻SnO2、In2O3敏感层材料。为改善气体传感器的特性，进行了催化剂的选择及表面修饰改性的研究。发现在SnO2中加入Pt2wt%、Au5.4at%可提高对NH3的灵敏度，以1.5wt%的NH4VO3溶液为修饰液，可使NH3传感器的选择性提高。加PdCl21%并以分子筛为隔离层可制作高选择性的CH4气体传感器。