ZnO纳米线阵列的表面修饰及其在气体传感器上的应用研究

采用气相输运方法在ITO玻璃和Si衬底上垂直生长尺寸均一的ZnO纳米线阵列。通过调节催化剂厚度,过渡层种类,气体流量和沉积温度来控制纳米线的形状，尺寸和密度。使用氧（或氮）等离子体以及不同气氛下的高温退火等方法对纳米线表面进行处理。采用发光光谱等光谱手段来研究等离子体参数和退火条件对纳米线表面缺陷态种类和密度的影响。通过测量纳米线电学和光学性质的变化来探测不同气体分子与纳米线间的相互作用，建立灵敏度与纳米线表面缺陷态间的联系。通过引入Au,Pt,Pd等贵金属纳米颗粒和金属氧化物纳米团簇对纳米线表面进行修饰，提高ZnO纳米线阵列的响应灵敏度和选择性。探索不同类型，浓度和大小的金属和金属氧化物纳米团簇对传感器性能的影响。研制出具有较高灵敏度，可靠性和一定分辨能力的纳米线气体传感器阵列。