高质量纳米金刚石膜制备技术及其物性的拉曼光谱研究

研究和开发微波等离子体CVD方法制备高质量纳米金刚石膜的技术和工艺。用高分辩率透射电镜等先进分析手段对不同艺条件制备的纳米金刚石膜进行物性研究。采用多种先进拉曼散射技术对晶粒度纯净度不同的纳米金刚石进行分析，结合物性研究结果和理论分析，揭示纳米金刚石膜拉曼光谱的本质。确定纳米金刚石膜的拉曼特征峰。