内耗方法研究金刚石薄膜杂质、缺陷和晶界状态

对金刚石薄膜进行了一系列内耗谱研究，通过计算和除衬底的影响，获得金刚石薄膜微结构及杂质的内耗谱特征。通过改善金刚石薄膜制备条件的可控程序，增强了内耗谱与制备条件的可比较性，发现样品制备条件如衬底温度，气源中非碳氢气体的含量等因素对内耗谱的影响，这反映了这些因素对金刚石薄膜质量的影响，对于表征金刚石薄膜质量特性的光学吸收，光散射和热传导性质作了一系列研究，提出金刚石薄膜质量判断方法的改进建议。在对薄中金刚石成分与石墨结构成分比例的光学参数估计中，改进后的主法所得的结果更接近实际。在金刚石薄膜内耗谱与薄膜光学性质的对比研究中得到较小的吸收系数的薄膜具有较简单的内耗谱。