微型电子光学系统的研究

本项目完成了考虑和不考虑空间电荷效应的场发射轮优化设计程序，多极系统计算程序和必要的图形显示程序；重点研究了微型场发射枪的电子光学性质及其结构优化、空间电荷效应和它在低压扫描电子显微镜中的应用，同时也研究了微型静电八极偏转器。研究中对场发射枪提出了球面二极管模型，并在阴极表面场强不为零的条件下计算空间电荷限制流。这在国内外尚示报导。研究表明，在三极式场发射枪中加大发射实到引出极之间的距离可以优化其电子光学性能；而在LVSEM中引出极孔径小的短枪在高亮度和低象差方面则有明显的优点。为减小象差和提高偏转灵敏度微型化的静电八极偏转器要增加长度与工作距离的比值。上述结果对研制高性能微型电子光学系统是重要的。