SnO2/ZnO基气体传感器阵列的喷墨打印制备及其对混合气体的定量分析

The type and the concentration of mixed gas could not be identified by one single metal-oxide gas sensor due to the constraint of its selectivity. However, sensor array is a good alternative for quantitative analysis of mixed gas, which is composed of different response-characteristics sensing unit. SnO2/ZnO based nano composite thin films sensor-array is to be prepared by ink-jet printing due to its easy to control of complex hybrid material film composition, structure and patterned.In order to realize effective control of film's performance, the effecting mechanism between the different preparation techniques and the thin film's structure is to be studied.To achieve the optimization of gas sensing materials, the relationship between the mixed-layer's structure and the response for mixture gas of CO, NOx and SO2 would be investigated. Feature abstraction of sensor array response and BP neural network building, training and optimization will be studied to realize the qualitative and quantitative analysis for mixed gas.This work will provide experimental and theoretical data to a new generation of sensor with multi-function, integration and intelligence.

单一金属氧化物气体传感器，受本身选择性限制，无法实现对混合气体的种类与浓度的检测。而以不同响应特性的气敏单元组成的传感器阵列代替单一传感器，使其对混合气体的定量分析成为可能。本项目拟利用喷墨打印技术易于精确控制复杂混合材料膜层成分、结构以及易于图案化设计等优势，在单一集成基片上进行SnO2/ZnO基纳米混合薄膜气体传感器阵列的制备。通过研究喷墨打印技术的不同制备工艺对薄膜结构、成分和性能的影响规律，以实现膜层性能的有效控制；在这基础上，针对被测的CO、NOx和SO2组成的混合气体，揭示混合膜层表、界面结构与气敏特性的内在联系，实现阵列单元气敏材料的优化选择；并通过对阵列气敏响应数据的特征提取及BP神经网络的构建、训练与优化，最终实现对混合气体的成分与浓度的定性与定量分析。本项目的研究，将为新一代传感器的多功能化、集成化和智能化提供实验与理论依据。

单一金属氧化物气体传感器，受本身选择性限制，无法实现对混合气体的种类与浓度的检测。而以不同响应特性的气敏单元组成的传感器阵列代替单一传感器，使其对混合气体的定量分析成为可能。本项目利用了喷墨打印技术易于精确控制复杂混合材料膜层成分、结构以及易于图案化设计等优势，进行SnO2/ZnO 基纳米混合薄膜气体传感器阵列的制备。通过研究喷墨打印技术的不同制备工艺对薄膜结构、成分和性能的影响规律，实现了膜层性能的有效控制；在这基础上，针对被测的CO、NOx 和SO2 组成的混合气体，实现了阵列单元气敏材料的优化选择；并通过对阵列气敏响应数据的特征提取及神经网络的构建、训练与优化，最终实现对混合气体的成分与浓度的定性与定量分析。通过对本项目的研究，将为新一代传感器的多功能化、集成化和智能化提供实验与理论依据。此外，通过对喷墨印刷柔性传感器电极技术的研究，为传感器向柔性化、常温化的发展提供了必要的技术与理论支持。在本项目执行期间，项目组总共发表了11篇论文（其中6篇SCI论文，影响因子大于3的论文共4篇），并申请了2项国家发明专利，并完成和实现了当初的预期目标。