小尺度材料超长寿命服役失效机制与寿命预测

基于超声频率振动与波传播原理,建立小尺度材料超长寿命振动疲劳加速实验系统和方法, 实现不同尺度材料在振动环境下的超长寿命疲劳和长期可靠性试验研究。采用材料, 力学, 热, 电性质分析和有限元技术进行MEMS等小尺度材料及其结构实效机制研究分析和可靠性评价, 建立小尺度材料长寿命疲劳寿命和可靠性预测模型。该项研究将有利于国内MEMS材料和其它小尺度材料及其元件与结构的长期可靠性, 稳定性和耐久性的研究与设计及其产业性的技术发展。