SiGe/Si异质结构MOS器件工艺研究
基本信息
批准号：69276021
项目类别：面上项目
资助金额：6.00
负责人：李炳宗
学科分类：
依托单位：复旦大学
批准年份：1992
结题年份：1994
起止时间：1993-01-01 - 1994-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：黄维宁,顾志光,于伟峰,卞文杰
关键词：
***
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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