基于高场非对称波形离子迁移谱的MEMS微型环境探测器研究

为了维护环境安全，为了预防并阻止针对平民的恐怖袭击，为了应对战场上可能出现的化学武器袭击，世界各国都投入了大量的人力和物力进行环境检测装置的研究。但是目前的检测装置都具有检测时间长、设备复杂、体积庞大、成本高、机动性差等缺点，难以满足实际使用的要求。为了克服现有检测装置的不足，本课题提出一种基于高场非对称波形离子迁移谱（FAIMS，High-field Asymmetric Waveform Ion Mobility Spectrometry）技术的MEMS（Micro Electro-Mechanical System）微型环境探测器。它具有微型化、灵敏度高、检测时间短、检测物质广和功耗低等特点。基于FAIMS技术的MEMS微型环境探测器可用于大气、有毒气体、水有机污染物、爆炸物、化学战剂等的快速检测，在环境监测、公共安全和战场生化威胁等领域都有着广泛的应用。