用液相外延技术制备极低缺陷密度的Si/SiO2SOI结构
基本信息
批准号：69776006
项目类别：面上项目
资助金额：11.50
负责人：季振国
学科分类：
依托单位：浙江大学
批准年份：1997
结题年份：2000
起止时间：1998-01-01 - 2000-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：卢殿通,袁骏,丁扣宝,樊瑞新
关键词：
SOI结构液相外延横向外延生长
结项摘要
本项目用挤压法和浸渍法液相外延技术在硅片上生长SOI结构；利用高纯金属熔体吸除硅片中的有害金属杂质；利用在光刻窗口上选择性液相外延制备微型硅部件；对生长的SOI结构用多种测试手段进行了表征，本项目主要取得以下成果：1、通过液相外延横相生长技术获得了质量较好的SOI结构；2、利用高纯金属熔体成功地降低了硅片中的金属杂质；3、利用光刻窗口限制生长区域，制备了可用于微机械的微型硅部件；4、制备并用多种分析测试手段研究了离子注入SOI材料的结构及电学性能。
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
演化经济地理学视角下的产业结构演替与分叉研究评述
演化经济地理学视角下的产业结构演替与分叉研究评述
DOI：10.15957/j.cnki.jjdl.2016.12.031
发表时间：2016
2
气相色谱-质谱法分析柚木光辐射前后的抽提物成分
气相色谱-质谱法分析柚木光辐射前后的抽提物成分
DOI：10.14067/j.cnki.1673-923x.2018.02.019
发表时间：2018
3
温和条件下柱前标记-高效液相色谱-质谱法测定枸杞多糖中单糖组成
温和条件下柱前标记-高效液相色谱-质谱法测定枸杞多糖中单糖组成
DOI：10.3724/ SP.J.1123.2019.04013
发表时间：2019
4
惯性约束聚变内爆中基于多块结构网格的高效辐射扩散并行算法
惯性约束聚变内爆中基于多块结构网格的高效辐射扩散并行算法
DOI：10.19596/j.cnki.1001-246x.8419
发表时间：2022
5
圆柏大痣小蜂雌成虫触角、下颚须及产卵器感器超微结构观察
圆柏大痣小蜂雌成虫触角、下颚须及产卵器感器超微结构观察
DOI：10.3969/j.issn.1674-0858.2020.04.30
发表时间：2020
季振国的其他基金
批准号：61072015
批准年份：2010
资助金额：38.00
项目类别：面上项目
批准号：50273033
批准年份：2002
资助金额：8.00
项目类别：面上项目
批准号：61372025
批准年份：2013
资助金额：80.00
项目类别：面上项目
批准号：60576063
批准年份：2005
资助金额：22.00
项目类别：面上项目
相似国自然基金
1
生长超薄GaAlAs外延层的液相外延技术研究
批准号：69246002
批准年份：1992
负责人：宋南辛
学科分类：F0401
资助金额：4.00
项目类别：专项基金项目
2
热壁-液相外延制备GaAs/导电玻璃材料及其性能研究
批准号：60266002
批准年份：2002
负责人：涂洁磊
学科分类：F0401
资助金额：20.00
项目类别：地区科学基金项目
3
两相流气液界面密度测量技术的研究
批准号：58976257
批准年份：1989
负责人：王洲
学科分类：E0606
资助金额：4.50
项目类别：面上项目
4
在Si衬底上用MOCVD异质外延GaP材料性能的研究
批准号：69086402
批准年份：1990
负责人：高瑛
学科分类：F0405
资助金额：4.00
项目类别：专项基金项目