量子点、量子线结构纳米衍射光学元件探索

基本信息
批准号:90101002
项目类别:重大研究计划
资助金额:22.00
负责人:刘峰奇
学科分类:
依托单位:中国科学院半导体研究所
批准年份:2001
结题年份:2004
起止时间:2002-01-01 - 2004-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:丁鼎,张秀兰,何军,李成名,张子旸
关键词:
量子点量子线衍射光学元件
结项摘要

将应变自组装技术与光刻腐蚀技术相结合,在非平面衬底上探索选择性外延生长工艺。利用不同晶面生长速率的差别、外延层应变分布的变化、成核特点的不同对量子点、量子线的大小、形状及分布进行调制,制备有序性较高的量子点、量子线。将量子点、量子线的空间有序性和周期性图形衬底有效结合起来,探索制备纳米衍射光学元件。

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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