半导体纳米电子器件及其集成技术

研究单电子晶体管、量子点器件和共振隧穿器件与传统晶体管的集成方法和技术，研制出多值单电子存储器，制备出纳米倒相器件和逻辑电路。进一步减小量子点的尺寸，使所制备出的纳米器件电路显示单电子效应。系统分析表征这三种纳米器件电路的特征及潜在的应用价值，为国家选定纳米器件电路的攻关方向提供一定的依据。