采用有限元分析、硅微机械加工技术及CMOS技术,设计并研制压阻输出、集成化、微阵列式悬臂梁传感器。在悬臂梁表面固定化生化敏感层,实现微量生化分子检测。采用微模型技术及聚合物材料研制三维阵列芯片。根据场效应晶体管和DNA互补配对的原理,实现DNA-FET。该研究在微量、痕量级检测生化分子中将发挥重要作用。
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数据更新时间:2023-05-31
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