用毫米波准光腔精确测量材料参数

This project studies material’s parameter measurement techniques using millimeter wave quasi-optical resonator perturbation.It can measure materials such as multi-layer dielectric , corrosive layer of conductors, vacuum plating films, and epitaxial layer of.semiconductors, etc. this method may have the accuracy of nanometer..Compared with other techniques, it is potentially faster, low cost, and.compatible with both transparent and non-tranparent materials.

本项目研究用毫米波准光技术实现材料参数的测量，包括导电材料的腐蚀层．多层介质材料．真空镀膜．半导体外延层等的参数（如厚度．复介电常数等），其测厚精度可达到纳米级；该方法与目前的一些测试方法相比，具有成本低廉．测量速度快．透明及非透明材料皆可测量等优点；本项目研究为毫米波技术与材料学科相结合的跨学科课题。