正交衍射光栅计量方法与XY驱动定位技术的研究

衍射光栅干涉测量是一种精度较高的测量方法，但普通衍射光栅只能进行一维测量，无法满足二维位移同步测量的要求。基于此，本课题欲采用平面全息正交衍射光栅二维位移同步测量的方法，针对衍射光栅干涉条纹十分微弱的缺点，提出一种高信噪比的干涉条纹光电接收方法，它的主要特点是差分光电管的零间隔布置。应用这种接收方法，有望克服由于零漂造成衍射光栅无法计量的缺点，它的研究将有助于解决所有类条纹信号传感器的光电接收问题。.基于平面全息正交衍射光栅的计量方法，设计一种自带计量标准器的宽范围XY精密定位驱动系统，该系统拟采用宏微两级定位方案，重点研究在微纳米尺度内定位系统的摩擦与蠕动机制、宏微两级驱动模型、切换控制算法、系统快速定位方法与定位锁定技术等。本驱动系统的实现将能为许多相关课题提供研究平台。