建立真空紫外软X射线多元件光学系统的研究平台
基本信息
批准号：60578040
项目类别：面上项目
资助金额：7.00
负责人：吕丽军
学科分类：
依托单位：上海大学
批准年份：2005
结题年份：2006
起止时间：2006-01-01 - 2006-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：邰仁忠,颜锦奎,周文静,周铭,赵艳涛
关键词：
光学系统设计像质评价真空紫外软X射线像差理论
结项摘要
目前，VUV及软X射线在生物、材料、微电子及微加工等领域的应用研究对能量分辨以及空间分辨的要求越来越高。高能量分辨主要涉及的研究有精细谱结构、干涉光刻等，高空间分辨率主要用于几十个纳米空间分辨的极限显微应用研究。设计、研制高性能的XUV光谱仪、显微镜等光学成像装置是推动这些应用研究的关键因素。该课题将在对XUV多元件光学系统的像差理论、评价函数和设计优化方法进行拓展性的研究基础上，研究XUV单色仪
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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