稠密CO2流体及混合物与微电子晶片SiO2表面相互作用微观机理的分子模拟研究
基本信息
批准号：20476044
项目类别：面上项目
资助金额：28.00
负责人：杨晓宁
学科分类：
依托单位：南京工业大学
批准年份：2004
结题年份：2007
起止时间：2005-01-01 - 2007-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：丁俊卿,严彬,张翠娟,刘珊珊,岳晓鹏,刘淑延
关键词：
微电子晶片稠密CO2流体界面分子模拟
结项摘要
本课题采用分子动力学（MD）模拟和巨正则Monte Carlo模拟为研究手段，对高压稠密CO2流体及其含助剂混合物在与微电子晶片有关的网络状SiO2材料表面处流体的微观静态平衡结构以及动态传递行为进行分子水平研究，模拟计算界面处流体热力学平衡性质和动力学传递性质。研究目标在于揭示该复杂流体系统与晶片材料SiO2表面的微观相互作用行为和机制，研究结果将对基于稠密CO2流体的微电子晶片表面处理过程提供
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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