粉末－溶胶法制备Si井混合式厚膜红外探测器阵列的研究

从提高非致冷红外探测器阵列像元的灵敏度入手，深入研究Si井混合式厚膜红外探测器阵列的结构设计、Si井微孔阵列的激光刻蚀方法、Si井微孔阵列的填充-掏空技术和制备厚膜探测灵敏元阵列的粉末-溶胶工艺。制出无裂纹、高致密、高电阻率，厚度在18um左右其热释电性能优异的厚膜灵敏元阵列。用该阵列设计温度分布式人体识系统并研究实际用。