硅大功率器件表面多层钝化膜材料的研究

基本信息
批准号:58972114
项目类别:面上项目
资助金额:4.00
负责人:梁骏吾
学科分类:
依托单位:中国科学院半导体研究所
批准年份:1989
结题年份:1992
起止时间:1990-01-01 - 1992-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:郭斗光,郑红军,李忠玲,郭钟光,黄大定,邓礼生,杨辉,刘金龙
关键词:
硅大功率器件钝化特性多层钝化膜
结项摘要

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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资助金额:11.00
项目类别:面上项目
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资助金额:3.00
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