硅大功率器件表面多层钝化膜材料的研究
基本信息
批准号：58972114
项目类别：面上项目
资助金额：4.00
负责人：梁骏吾
学科分类：
依托单位：中国科学院半导体研究所
批准年份：1989
结题年份：1992
起止时间：1990-01-01 - 1992-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：郭斗光,郑红军,李忠玲,郭钟光,黄大定,邓礼生,杨辉,刘金龙
关键词：
硅大功率器件钝化特性多层钝化膜
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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