块体非晶合金微尺度压缩性能及变形机制研究

针对块体非晶合金作为MEMS器件中结构材料的设计及应用的需要，申请者在前期工作基础上，进行块体非晶合金在微米、亚微米尺度的力学性能（尤其是屈服强度和塑性指标）和变形机制的研究。拟选择两种典型的块体非晶合金（Zr基非晶和含有细小纳米晶的延性CuZr基非晶）作为研究对象，采用光刻蚀与聚焦离子束（FIB）相结合的方法制备微尺度的方形等横截面长方体微型压缩样品，通过在带有平压头的Nano II XP纳米压入仪下的压缩性能测试和透射电镜下实时原位压缩测试相结合的方法，研究微尺度非晶合金试样尺寸与力学性能及变形机制的相关性；揭示微尺度时非晶合金可能的变形机制；阐明纳米晶非晶合金的韧化机制，同时也为发展具有良好延性的块体非晶合金以及其在MEMS器件中的设计、应用等提供重要的理论指导。