MEMS结构动力学特性的尺度效应研究
基本信息
批准号：10572060
项目类别：面上项目
资助金额：10.00
负责人：康新
学科分类：
依托单位：南京理工大学
批准年份：2005
结题年份：2006
起止时间：2006-01-01 - 2006-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：席占稳,章定国,刘中华,沈煜年,徐业鹏
关键词：
MEMS结构动力学特性尺度效应应变梯度理论
结项摘要
"尺度效应"问题是目前微电子机械系统(MEMS)所面临的一个科学难题，并已成为制约MEMS发展的一个瓶颈。近年来，人们已经意识到这个问题，并对微结构静态力学特性的尺度效应做了大量工作。然而，MEMS器件一般都具有运动部件，而且，其失效往往发生在运动部件上。因此，对微结构动力学特性的研究尤其是其尺度效应的研究显得更为重要，这直接关系到MEMS器件的稳定性和可靠性。本申请项目将采用高速摄像机结合三维数
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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