电介质--半导体界面上带电规律机理与应用

研究搞清介质与半导体界面的带电包括了静态接触带电和在电场和高温下形成的驻极带电。前者决定了器件的室温表面电场和耐压稳定性，后者决定了器件的高温表面电场和耐压稳定性。研究了常用保护材料与硅半导体（P型及N型）的接触带电规律，得出了带电序列。发现介质与硅半导体的接触带电实际上是由电介质与硅表面自形成的二氧化硅接触带电所决定的，与硅的类型无关。介质带电的正负与介质所含基团有关，含苯基易带正电，甲基易带负电。通过研究SP保护硅漆固化温度与介电温谱得出表面保护材料的驻极带电主要是由高温下离子电导所引起，通过提纯和加强固化工艺可控制器件带电特性。首次研制成功计算机联机测试的新型激光探针表面电场测试仪。