金属羰基化合物激光化学气相沉积反应动力学
基本信息
结项摘要
本课题采用超声分子束、激光溅射的飞行时间质谱和低温基体隔离等手段系统地研究了十羰基二锰的紫外激光光电离解离过程，并对其机理进行了探讨。通过实验得到了它光解离的初级过程为：Mn2(CO)10→(nv)Mn2(CO)9+CO和Mn2(CO)20→(nv)2Mn(CO)5.还测得了各种光解产物的离子.首次发现了Mn4(+)Mn4(CO)9(+)等重团簇离子,Mn2(CO)9能吸收CO而复原的现象.另外采用QCM和透射法技术研究了CWCO2激光、N2分子激光,253.7nm紫外光诱导的Mn2(CO)10热解离和光解离沉积动力学,获得了激光功率阀值、热解表观活化能、绝对沉积速率和外nv气体(如Ar、O2、CO等)对沉积速率的影响.研究表明:采用上述光源,不可能得到纯锰金属膜,而是含有低配位Mnx(CO)y的膜,这种低配位的Mnx(CO)y又能成为吸收CO的吸收剂.
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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