全氟烃分解反应催化剂的研究

全氟烃（简写PFCs）被长期用作半导体工业的刻蚀气和清洗气，是一类典型的温室气体，催化分解法是简单可行的全氟烃消除技术。.本项目拟以CF4（一种结构最稳定的全氟烃，其温室效应值是CO2的6 500倍）为PFCs的代表，以CF4 + 2H2O = CO2 + 4HF为模型反应，剖析申请者前期研究筛选的Al2O3基催化剂在CF4分解反应中的活性相结构（活性位）及其变化，研究不同反应条件（反应温度、H2O/CF4）下催化剂的失活机理。为改善催化剂的稳定性，有针对性地采用一些改性方法、并探索其改性原理。为开发活性高、性能稳定的全氟烃分解催化剂提供理论依据。