高灵敏度隧道磁阻纳米颗粒膜的新型复合结构及技术基础

本项目利用软磁薄膜与纳米颗粒薄膜的磁耦合效应，设计提出了一种旨在解决阻碍隧道磁电阻纳米颗粒膜作为高灵敏度磁传感器材料应用的软磁化问题的新型结构，将高饱和磁化强度的软磁薄膜与隧道磁电阻纳米颗粒薄膜以条状形式构成交替排列的微结构，提高纳米颗粒薄膜的隧道磁电阻效应在低磁场(<10 Oe)下的磁场响应，为突破低磁场下高灵敏度、高性价比的节能型磁传感器研制中的"瓶颈"技术打下基础。系统研究交替排列的条纹间距在亚微米到纳米范围内变化条件下，软磁薄膜的饱和磁化强度、矫顽力、磁各向异性以及软磁薄膜的厚度、条纹间距、条纹宽度对软磁薄膜与纳米颗粒膜的磁耦合效应的影响规律，最大限度地强化低场诱发的条纹间磁化与磁性颗粒的耦合作用，提高纳米颗粒膜的磁场灵敏度，为研制节能型高灵敏度磁传感器奠定理论与技术基础。