射频增强大气压DBD低温等离子体束流技术及基本机理研究

大气压低温等离子体，特别是大气压下的开放式辉光化等离子体，在材料表面改性和微细加工，等离子体化学合成和能源转化等领域具有广阔应用前景。本项目提出一种大气压下的射频增强介质阻挡放电复合放电制式，利用射频能量实现放电增强,通过放电能量的合理布局，产生大气压低温等离子体中性束流，从而实现一种新型高开放性大气压类辉光放电等离子体发生技术。本项目将采用放电工艺设计、放电过程诊断和理论分析相结合的方法，对于大气压低温等离子体中性束流的运行特点和产生机理开展研究，弄清这一技术过程的物理原理，实现这一新型等离子体束流技术的优化设计；研制出一套产生大气压等离子体束流的原型样机，为开展相关应用研究准备技术条件；研究放电能量、气体流场和放电几何与等离子体束流特征的关系，建立工艺设计的理论基础和技术方法，为其应用技术的开发奠定技术基础。