短波长激光超精密冷抛光蓝宝石晶片的新方法及其机理研究
基本信息
批准号：50675038
项目类别：面上项目
资助金额：27.00
负责人：魏昕
学科分类：
依托单位：广东工业大学
批准年份：2006
结题年份：2009
起止时间：2007-01-01 - 2009-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：王大承,李瑜煜,肖曙红,刘吉安,胡伟,李长航,黄蕊慰,郭晓艳,谢昕
关键词：
超精密抛光激光冷抛光蓝宝石抛光机理
结项摘要
蓝宝石单晶是一种性能优良的多功能材料。但因其硬度高脆性大导热性差，难以加工。本项目采用短波长激光超精密冷抛光蓝宝石晶片，并系统研究这一新工艺过程及其加工机理。采用二倍频YAG 激光精抛光和四倍频YAG 激光超精密冷抛光相结合的工艺构思。通过抛光过程的试验研究以及材料能级结构和激光光子能量的分析，建立抛光过程激光与蓝宝石材料的相互作用模型，提出材料的去除机理，提供蓝宝石超精密抛光的最佳激光系统工艺系
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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