新型超硬氮化物纳米复合无机薄膜材料的研究
基本信息
批准号：50372024
项目类别：面上项目
资助金额：25.00
负责人：郑伟涛
学科分类：
依托单位：吉林大学
批准年份：2003
结题年份：2006
起止时间：2004-01-01 - 2006-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：丁涛,王欣,刘艳华,李俊杰,郑冰,卞海蛟,乔靓
关键词：
微观机理复合薄膜超硬纳米
结项摘要
利用多靶磁控溅射系统生长过渡金属氮化物和CN或BN纳米复合多层膜；利用ECRCVD.溅射复合系统生长过渡金属氮化物为溶质，CN或BN.为基体的纳米复合薄膜材料。摸索各实验参数对薄膜组分、结构和硬度等性质的影响。特别是多层膜的周期长度、过渡金属氮化物溶质的晶粒尺寸对复合薄膜硬度的影响；对实验条件进行优化以获得新型超硬纳米复合薄膜材料。探究上述两类不同纳米复合薄膜材料硬度增强的物理微观机制。从而为新一
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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