不依赖于偏振的可调谐的集成光学波长滤波器的研究
基本信息
结项摘要
围绕“不依赖于偏振的可调谐波长滤波器”这一目标进行了大量研究，主要有：（1）用光刻胶正负变性技术使Lift-off光刻工艺质量明显提高，能光刻出2.0μm宽的线条，成功率达90%以上；（2）提出了金属膜偏振器的新设计思想，它不仅考虑了TMo和TM1模的损耗，也考虑了在金属膜覆盖区和没有金属膜覆盖区之间的损耗，实际制成的偏振串音为-38dB，与理论相符；（3）制成依赖于偏振的光波长滤波器，转换效率达95%，滤出波长宽度为1.1nm，调谐范围134nm；（4）提出了一种全新的模分离器，即利用有间隙的Y结实现TE/TM模的分离，偏振串音—20.3dB（TE模）和-23.5dB（TM模）。在上述基础上制成了不依赖于偏振的可调谐滤波器，在电驱动功率为100mw时，偏振串音为-11dB。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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