新型多自由度压电薄膜微操纵技术及控制原理的研究
基本信息
批准号：50505021
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：8.00
负责人：褚祥诚
学科分类：
依托单位：清华大学
批准年份：2005
结题年份：2006
起止时间：2006-01-01 - 2006-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：勾焕林,龚文,王保卫,李恩竹,马龙,张力,盛明新
关键词：
碳纳米管压电驱动微驱动压电陶瓷探针
结项摘要
提出具有纳米分辨率、碳纳米管为探针的多自由度压电陶瓷膜操纵机理和结构模型。采用层状压电陶瓷膜，利用特定的电极分区、极化方式及不同的加电波形，控制压电膜微观变形，实现碳纳米管的多自由度运动。其特点：结构紧凑、无任何间隙和摩擦损耗、机电转换效率高、驱动电压低、干扰小、具有微机电系统集成化特征，适于在扫描隧道显微镜等微观操纵领域应用。本申请将理论分析和模拟操纵器的工作机理并建立运动学模型，分析压电陶瓷驱
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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