高度扭曲的精密复杂曲面形状误差的激光干涉测量方法

精密复杂曲面的形状误差，目前一般用接触式的测量方法测量。因受接触变形及测量环境等的影响，该测量法的最高测量精度不超过0.1μm，已经难以满足越来越高的测量精度要求。激光干涉测量法是非接触的测量方法，该方法的分辨率可达0.1nm级，测量精度一般为10nm级，能够满足超精密测量的要求。本课题就采用激光干涉法测量高度扭曲的精密复杂曲面形状的方法进行探讨，主要内容有：高度扭曲变形的干涉条纹图像的精确仿真和精密复杂光学系统的设计方法的探讨，复杂光学测量系统误差解析模型的建立；适用于高度扭曲曲面的干涉条纹图像的处理方法的研究；提出高度扭曲变形的实拍图像形状的精确还原方法，及多幅扭曲变形图像的高精度拼接方法；研究适用于高度扭曲的复杂曲面测量的相位解包裹的一般方法；提出用超深度分层扫描法测量高度差较大的高度扭曲复杂曲面的方法及其图像的高精度拼接方法。