氧化膜的应力和开裂

本项目主要研究一种高温、实时、连续测定金属氧化膜中结构转变和应力变化的新技术和建立相应的实验装置。利用这种技术可将氧化膜中的生长应力和热应力区分开来，即在一定高温氧化条件下可测定金属氧化膜中的生长应力（δ生长）和（δ生长）—T（时间）特性曲线；当在真空和改变温度条件下，可测定在此温度变化范围内金属氧化膜中的热应力（δ热和δ热—T特性的曲线。研究结果发现，在高温下不同金属氧化膜δ生长—T特性曲线形态绝然不同，充分反映在δ生长的诱发因素和生长过程中的差异。利用该技术，还能探测氧化膜中结构精度，所以，该技术有可能成为从一个侧面揭示高温氧化膜生长过程中特性有效手段之一，该项技术还可应用于其他高温薄膜的研究中，应用前景十分宽广。