硅微机械动构件间的摩擦学特性与传力效率

基本信息
批准号:59875055
项目类别:面上项目
资助金额:12.00
负责人:陈晓阳
学科分类:
依托单位:上海大学
批准年份:1998
结题年份:2001
起止时间:1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:李伟,沈雪瑾,宋汉斌,董鸣,陆景唐,宋晓珏
关键词:
硅微机械摩擦学传力效率
结项摘要

以摩擦学系统和摩擦学设计的观点与方法,对基于IC工艺所开发的薄膜平面型微机械,用实物试验和数值分析手段,研究力和运动传递过程中各动构件的尺度效应对摩擦机理和摩擦学基本参数的影响,分析不同工况条件下力的最佳传递方式与效率,探讨不同IC工艺参数的影响和延寿技术,为微机械的结构设计.性能分析和制造工艺提供摩擦学的分析设计方法

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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