以摩擦学系统和摩擦学设计的观点与方法,对基于IC工艺所开发的薄膜平面型微机械,用实物试验和数值分析手段,研究力和运动传递过程中各动构件的尺度效应对摩擦机理和摩擦学基本参数的影响,分析不同工况条件下力的最佳传递方式与效率,探讨不同IC工艺参数的影响和延寿技术,为微机械的结构设计.性能分析和制造工艺提供摩擦学的分析设计方法
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数据更新时间:2023-05-31
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