液相原子力显微镜的多因素耦合分析及测量参数优化

液相原子力显微镜在纳米科技中具有独特的用处和优点。然而目前在其基础研究方法上局限于单纯的力曲线、幅频响应等分析；同时工作参数对最终测量结果的定量影响规律尚不清楚，更谈不上对各参数进行综合优化。上述局限制约了液相原子力显微镜在定量测量中的应用。本项目的主要研究内容包括：液体环境微纳尺度的原子力显微镜微悬臂动态行为的多因素、多信号耦合作用分析，建立分析方法并进行实验验证；各因素对液相原子力显微镜最终测量结果的定量影响研究，拟建立液体的特性、微悬臂几何和力学性能、主要成像控制参数对扫描结果影响的多尺度、多力场作用系统分析模型；液体环境下Contact、Tapping和Jumping三种成像模式的测量参数综合优化并对测量结果进行对比验证，为建立液体环境原子力显微镜测量规范提供科学依据。本项目的实施可为液体环境下扫描测量结果的定量解释提供指导，为液相原子力显微镜在众多纳米科技领域中的应用奠定基础。