强流负离子永磁溅射PIG离子源的研究

本项目研究用永磁溅射ＰＩＧ源产生强流负电子，尤其是强流氧负离子的机理和方法。研究空间和电极表面过程对负离子产生的影响；磁场分布和强度，以及不同电极材料及其组合对产生负离子的作用；优化源结构并研制出多靶位和Ｏ－离子流强大于５ｍＡ的实用源型。该源可用于ＲＦＱ加速器和强流氧离子埋层注入，以便解决强流Ｏ＋离子注入时靶片击穿问题。