金刚石薄膜宏观应力与薄膜织构的关系

以单晶硅、单晶锗及多晶钼等为衬底，研究金刚石薄膜织构形成的基本规律，衬底物理特性及其各向异性、化学气相沉积工艺参数等对金刚石薄膜织构和应力形成的影响；以及金刚石晶粒间取向差影响薄膜应力的可能性。从弹性各向异性入手研究薄膜织构与宏观应力的关系。建立薄膜织构与宏观残余应力关系的理论。以取向分布函数为基础建立金刚石薄膜织构分析和评价的方法。探索借助调整织构来控制薄膜应力的途径。