光学薄膜宏观应力与微观结构变化关系研究

薄膜应力是影响薄膜性能的重要因素之一，但目前还没有对薄膜应力的产生发展过程有一个透彻的了解。本项目通过实时测量方法在线监测薄膜沉积过程中的应力生长变化情况，找出应力与沉积工艺之间的对应关系，确定出控制应力的最佳工艺条件，并通过对宏观应力状态与微区微观结构变化之间对应关系的细致研究，明确两者之间的内在联系，建立起相应的理论模型，对薄膜应力的各种应力状态做出解释。