离子镀膜用受控真空电弧蒸发源的研究
基本信息
批准号：58870285
项目类别：面上项目
资助金额：6.00
负责人：吴振华
学科分类：
依托单位：中国科学院电工研究所
批准年份：1988
结题年份：1990
起止时间：1989-01-01 - 1990-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：游本章,杨铁三,黄经筒06,任侠
关键词：
离子镀膜受控电弧蒸发源
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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