含纳米硅团簇的稀土掺杂绝缘体上的硅基膜体系增强发光机理

目前微电子技术正在向纳米电子技术和光电子技术发展，合理的途径是以硅和硅集成技术为基础，研制出高效发光的新型硅基光电子薄膜材料，实现硅基纳米电子和光电子集成。我们拟利用强流稀土金属离子注入和低能氧（氮、碳）和硅离子注入技术在绝缘体上的二氧化硅/硅基膜体系进行掺杂，通过各种退火方法，调制获得富含硅纳米团簇的绝缘体上的二氧化硅/稀土-氧（氮、碳）/硅基增强发光薄膜材料。调整注入能量，剂量，束流密度等注入参数和退火工艺及设计纳米尺寸膜层体系，进行微结构分析与形貌观察，分析稀土增强发光的硅纳米团簇尺度，稀土浓度和弥散度及稀土-硅-氧（碳、碳）匹配浓度，探索硅纳米团簇增强稀土浓度高效发光问题，对阐明硅纳米团簇与稀土-氧（碳、碳）之间相互作用机制，揭示有效促进稀土增强发光规律有重要意义，为纳米稀土光电实用化奠定应用基础，提供切实可行的方案。