激光法制备BaTiO3外延薄膜机理研究与关键技术

用激光法外延生长钛酸钡等铁电薄膜，具有组份准确简单方便快捷和成膜质量高等优点。钛酸钡外延薄膜 室温下具有铁电压电热电和光折变等效应，极利于发展高密度多层薄膜电容器，大规模集成动态随机存取记忆器件和快速电光开关，受到国际科技界广泛重视。本项目率先在国内开展了激光法研制钛酸钡薄膜及其关键技术。已在钛酸锶、铝酸镧、氮化镁等衬底上外延成功优质钛酸钡薄膜；解决了衬底均匀和热及活性氧源等关键技术，较深入全面地研究了成膜最佳条件和各生长参数关系并研究了薄膜的铁电及电光性质，指标已达国际水平。特别是首次在超导薄膜上外延成功钛酸钡薄膜解决了下电极问题论文得国际同行6次引用。本项目共发表学术论文10篇获专利权3项。