氧化物气敏材料和元件可靠性研究
基本信息
结项摘要
以SnO2气敏元件为代表，用近代分析方法从材料的合成开始进行工艺流程跟踪检查观测元件老化、存放、高温、高油污、高湿度以及有毒有害气体存在情况下气敏元件参数的变化。通过研究找到了晶化活化能与元件阻值之间的对应关系。在制备敏感材料时可以通过测定材料的活化能来预测元件的阻值范围。以此对元件工艺进行了改进，使元件阻值的一致性有提高。另外采用量子化学分析方法研究了掺杂SnO2 的电子结构与吸附气体的相互作用，阐述了掺杂对电子材料输运过程的影响，讨论了导电性与气敏性改变的机理。通过研究和工艺改进使气敏元件的可靠性和稳定性有进一步提高，共发表了论文7篇。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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