机电集成静电谐波微型传动系统

谐波齿轮传动是已知机械传动的最佳形式之一。该传动结构非常紧凑，特别适于航空和航天等尖端技术领域。申请者提出的机电集成静电谐波微型传动系统属有源传动；实现了谐波传动、静电驱动和控制系统的集成结构，更有利于实现机电传动系统的微型化；该传动系统具有结构简单、加工容易，电压调控、响应速度快和低速大扭距输出等优点。除生物医学、微型机器人和军事装备等技术领域外，尚可用于微型卫星以及小型运载火箭等尖端技术领域，具有更为广阔的应用前景。.本项申请拟研究机电集成静电谐波微型传动系统的基础理论和关键技术基础。给出该种微型传动系统的机电结构集成原理、静电场与机械力的微机电耦合运动学、静力学和动力学理论、微机电耦合传动系统的驱动和控制理论，给出关键零部件的制造技术；完成机电集成静电谐波微型传动系统的原理性试验。