基于MEMS工艺的三元溶液浓度测量多功能敏感技术研究

本项目面向食品加工和其它工业生产过程的广泛实际需求，采用多功能敏感技术思想和MEMS工艺，实现单一结构的微型多功能传感器，在线同时测量三元溶液中两种溶质的浓度。微型化和多功能化是传感器技术发展中的关键科学问题。拟研制的多功能传感器突破传统工艺概念，在优化设计的基础上，以MEMS工艺构造微型传感器，巧妙利用交叉敏感特性使传感器具有多参数敏感功能，提高稳定性和灵敏度、增强耐腐蚀能力、延长使用寿命。在理论和实践上研究多功能传感器的标定策略优化技术和多维空间小标定样本情况下的多功能传感器信号重构方法，提高传感器的实用性和有效性。引入模糊数据融合和可靠性理论，建立"结垢失效"数学模型，实现"结垢"状态自动判别、输出测量值不确定度信息，使多功能传感器具有自确认功能，智能化程度得到有效提高。项目的创新性研究成果将推动多功能微传感器的进步，提高工业过程控制水平和生产效率，具有广阔的应用前景和实用价值。