基于MEMS工艺的神经刺激微电极阵列的关键技术研究

多通道植入式神经刺激微电极阵列是目前进行神经科学研究的关键部件，具有重要的研究价值和学术意义。基于微机电系统(MEMS)工艺制作的多通道神经刺激微电极阵列具有通道一致性高、成本低、可重复性强等优点，成为国际上的一个研究热点，目前国内还没有此方面研究内容的正式报道。本项目采用硅材料作为微电极主体，使用生物相容性较好的聚合物作为表面涂敷层，研究制作神经刺激微电极阵列，开发行之有效的MEMS制作工艺。研究微电极与生物组织接口的作用机制，从理论上确定刺激微电极结构与刺激点尺寸。完成微电极物理参数以及电化学参数的体外评估，并通过动物试验对微电极进行在体评估，研究其失效机理，进而成功地制作出安全可靠的、可长期植入的神经刺激微电极。这将对我国乃至国际上神经工程或神经修复研究具有重大而深远的意义，不仅可以改进传统的医疗手段，推动医疗设备的创新，也会为经济发展提供新的动力支持。