用于场发射显示的新型表面传导阴极

基本信息
批准号:60271008
项目类别:面上项目
资助金额:25.00
负责人:李德杰
学科分类:
依托单位:清华大学
批准年份:2002
结题年份:2005
起止时间:2003-01-01 - 2005-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:姚绮君,杨琦,梁晶晶,万媛,王增美,胡莉莉,方国家,殷明,王恒
关键词:
表面传导发射场发射真空微电子
结项摘要

用于场发射显示中的表面传导发射阴极,该阴极采用薄膜技术制备,经后续处理形成岛状结构,或先将衬底处理成岛状然后沉积导电薄膜。该阴极在发射率、驱动电压和自聚焦等综合指标方面将为国际领先。重点研究发射机理和岛状薄膜的形成机制和工艺过程。该阴极应用到大屏幕平板显示中,将大大降低显示器的成本,产生重大的经济和社会效益。

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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